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超纯水技术在半导体行业的应用

预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体，使sd≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低lsi ，避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分，主要原因如下:(i)传统的预处理过程中sdi值不好控制，一般>;5，不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水sdi值比较稳定(}1)，能够有效地---一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大，纯水设备供应商，而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小，节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比，超滤装置的更换比较方便。(4)近年来，由于超滤技术的不断成熟，无锡水设备，系统能够稳定---运行，净水设备厂家，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，在---投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。