超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使sd≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低lsi ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分,主要原因如下:(i)传统的预处理过程中sdi值不好控制,一般>;5,不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水sdi值比较稳定(}1),能够有效地---一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大,而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小,节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比,小区中水回用设备厂家,超滤装置的更换比较方便。(4)近年来,由于超滤技术的不断成熟,系统能够稳定---运行,而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低,在---投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
超纯水设备中气泡的去除方法
活性炭。活性炭具有很强吸附情,在源水经过活性炭时,除了能吸附微粒子等,还能吸附气体,在工业生产中也常常采用活性炭除臭。活性炭有很多种,---的活性炭是果壳活性炭,中水回用设备价格,含碳量高,肯吸附性强。在超纯水设备的活性炭成为了去除气体的第
纯水处理技术可有效解决饮用水指标
纯水处理技术反渗透膜在正常使用过程中,会被无机物垢、胶体、微生物、金属氧化物等物质污染到,这些物质依附并逐渐沉积在膜表面上,累积到一定程度以后就会引起纯水设备反渗透装置出力下降或脱盐率下降、
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