超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体，使sd≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低lsi ，避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分，主要原因如下:(i)传统的预处理过程中sdi值不好控制，一般>;5，不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水sdi值比较稳定(}1)，能够有效地---一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大，而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小，节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比，超滤装置的更换比较方便。(4)近年来，由于超滤技术的不断成熟，系统能够稳定---运行，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，在---投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
一、超纯水设备中为什么会有气泡
超纯水设备制取超纯水用的源水，中水回用设备厂家，无论是以自来水为源水，还是地下水为源水，或者以纯水为源水。源水中总会溶有气体。这些气体可以大致分为：可反应性气体，不反应性气体，消毒副产物。这些气体大多通过自然溶入和人工加入的方法溶于水中，显然，一体化中水回用设备，起纯水中是不能含有这些气体的，---是可反应性气体和消毒副产物。
纯化水设备系统运行要注意哪些事项？
开机操作之---定要检查所有安装是否正确，预处理设备是否冲洗干净，电控系统是否连接正确，打开进水阀、浓水阀、排空阀、高压泵上的排气阀，排除系统内的空气后关闭排空阀，开启高压泵，检查系统是否有渗漏现象，打开主要电源开关开机，如果使用的是全自动的系统会根据自身运行状况自动开关机，观察电控示意图，首先自动冲洗系统进行冲洗60秒或根据实际需要后对于1次使用的新机器要打开浓水阀低压冲洗约60分钟，然后可以逐渐升压，中水回用设备，系统自动转入运行状态，工业中水回用设备，检查所有泵以及管道的连接点以防漏水把所有漏水的地方修好，慢慢调节调压调节阀直到高压表上的读数值为1—1.0mpa，纯水流量将会随压力增加而增加，一般按设备产水量调节纯水流量严禁将浓水阀门关闭运行，观察电导仪上指数值符合要求后，方可引进纯水箱记录每天的进水浓水压力值和浓水，纯水流量值及电导仪指数值以便以后的分析，如果系统使用的是---压膜调节压力应为1—1.0mpa，一般高压调节阀1次启用时调节好后可维持一段时间不变。
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