上海超纯水设备-苏州千卓工程

1、反渗透设备简介

反渗透设备是将原水经过精细过滤器、颗粒活性碳过滤器、压缩活性碳过滤器等，再通过泵加压，利用孔径为1/10000μm（相当于大肠杆l菌大小的1/6000，---的1/300）的反渗透膜（ro膜），使较高浓度的水变为低浓度水，同时将工业污染物、重金属、---、---等大量混入水中的杂质全部隔离，从而达到饮用规定的理化指标及卫生标准，产出至清至纯的水。

超纯水技术在半导体行业的应用

预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体，使sd≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低lsi ，避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分，主要原因如下:(i)传统的预处理过程中sdi值不好控制，一般>;5，不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水sdi值比较稳定(}1)，能够有效地---一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大，而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小，超纯水设备，节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比，超滤装置的更换比较方便。(4)近年来，由于超滤技术的不断成熟，系统能够稳定---运行，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，在---投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。