超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使sd≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低lsi ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分,主要原因如下:(i)传统的预处理过程中sdi值不好控制,纯水设备生产厂家,一般>;5,不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水sdi值比较稳定(}1),能够有效地---一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大,而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小,节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比,超滤装置的更换比较方便。(4)近年来,由于超滤技术的不断成熟,系统能够稳定---运行,而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低,在---投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
纯水处理技术可有效解决饮用水指标
纯水处理技术反渗透膜在正常使用过程中,会被无机物垢、胶体、微生物、金属氧化物等物质污染到,这些物质依附并逐渐沉积在膜表面上,累积到一定程度以后就会引起纯水设备反渗透装置出力下降或脱盐率下降、
超纯水技术在半导体行业的应用
反渗透部分在半导体行业中,反渗透部分多采用双级反渗透工艺,以---后续工艺的安全性。通过双级反渗透,可去除水中超过99%的悬浮物、胶体,98%以上的溶解盐,金华水设备,大部分的微生物、toc和部分co2。该半导体制造厂也采用双级反渗透工艺,同时将双级反渗透拆分成两个独立的部分,这样就有效地---了系统的连续运行,即使在更换反渗透膜或在线清洗反渗透膜时,纯水设备,也不会造成整个工厂大而积的停水,---了关键部位的连续用水。该半导体厂采取在一级反渗透前增加sbs,mdc加药装置,---了一级反渗透系统的安全运行;在一级反渗透和二级反渗透之间增加一套加碱装置,可提高二级反渗透系统的脱盐率。
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