超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使sd≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低lsi ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分,主要原因如下:(i)传统的预处理过程中sdi值不好控制,一般>;5,不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水sdi值比较稳定(}1),能够有效地---一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大,而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小,节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比,超滤装置的更换比较方便。(4)近年来,由于超滤技术的不断成熟,小区中水回用设备厂家,系统能够稳定---运行,而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低,在---投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
超纯水技术在半导体行业的应用
反渗透部分在半导体行业中,中水回用设备,反渗透部分多采用双级反渗透工艺,以---后续工艺的安全性。通过双级反渗透,可去除水中超过99%的悬浮物、胶体,98%以上的溶解盐,大部分的微生物、toc和部分co2。该半导体制造厂也采用双级反渗透工艺,印染厂中水回用设备,同时将双级反渗透拆分成两个独立的部分,这样就有效地---了系统的连续运行,即使在更换反渗透膜或在线清洗反渗透膜时,也不会造成整个工厂大而积的停水,---了关键部位的连续用水。该半导体厂采取在一级反渗透前增加sbs,mdc加药装置,---了一级反渗透系统的安全运行;在一级反渗透和二级反渗透之间增加一套加碱装置,中水回用设备价格,可提高二级反渗透系统的脱盐率。
怎样减少水处理设备的故障率甚至杜绝故障的发生?
水处理设备使用注意事项
在取得水质后要进行全方面的水质分析,并在此基础上设计上反渗透设备系统。在进行设计之前要确定ro进水sdi值。若是进水水质出现变化,需要及时做出相应的设计调整。合理选择适用于设备的膜元件,---纤维素膜或者低污染膜元件对于处理比较复杂的地表水或污水可能效果---。---足够的预处理。在水通量的选择方面,尽可能采用一些常用的数据。在回收率方面,不一定要求量的多少,应以适合为宜。
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